Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions, miembro del Busch Group, presenta el HiCube Neo RGA, una solución compacta y versátil para el análisis de gases residuales (RGA). El HiCube Neo RGA integra una unidad de bomba de vacío HiCube Neo y un espectrómetro de masas PrismaPro.
La bomba de vacío turbomolecular de la unidad genera el nivel de vacío necesario para la espectrometría de masas, lo que permite al PrismaPro detectar y analizar rangos de masa específicos de moléculas de gas, proporcionando así datos para la monitorización del proceso o el control de calidad. Este sistema garantiza una identificación y un examen precisos de los gases residuales. Además, funciona en un amplio rango de presión, desde la presión atmosférica hasta el alto vacío. Se puede utilizar en varias aplicaciones, como el recubrimiento, así como en una amplia gama de tareas analíticas.
Para garantizar un funcionamiento estable y proteger los componentes de sistema, el HiCube Neo RGA incluye varios mecanismos de seguridad integrados. El sistema también cuenta con un medidor de vacío que supervisa continuamente la presión total. Asimismo, si la presión supera un umbral de seguridad predefinido, el sistema apaga automáticamente el filamento dentro del espectrómetro de masas. Esto evita daños en el filamento causados por la exposición a alta presión, lo que puede prolongar la vida útil y reducir la frecuencia de sustitución. El sistema también puede estar equipado con una válvula de cierre integrada.
El HiCube Neo RGA ofrece múltiples opciones de conectividad para integrar sensores externos y equipos de monitorización. Soporta entradas y salidas digitales y analógicas, lo que permite incorporar en el análisis datos de sensores adiciones, como otros medidores de vacío.